Desenvolvimento de Câmara Limpa com Atmosfera Controlada para Fabricação, Montagem e Experimentos de Microssistemas e Microdispositivos

Trata-se de um projeto de desenvolvimento de uma câmara limpa que atenda a norma ISO 14644-1 categoria 5, a qual deve conter um número máximo de partículas ≥ 0,5µm em suspensão no ar de 3520 partículas/m³. A câmara limpa tem como objetivo atender as demandas de pesquisa de dispositivos de micro e nano escala. A infraestrutura composta de uma caixa fabricada em policarbonato compacto cristal, que a torna resistente a impactos médio, bem como permite a visualização do experimento montado em seu interior em qualquer ângulo, além de ser resistente a uma vasta gama de produtos químicos. Projetada para trabalhar com atmosfera controlada, podendo ser com pressão positiva de até 500Torr ou negativa de até 100Torr, obtida ou por compressor isento de óleo equipado com filtro HEPA ou pela bomba de vácuo de duplo efeito no caso de vácuo. Ambiente que será controlado em tempo real em termos de pressão, temperatura e umidade. O pleno funcionamento da caixa limpa proporcionará experimentos de ponta em micro e nano escala no Laboratório de Ciências Térmicas em Micro e Macro Escala do CEFET/RJ Campus Itaguaí

Coordenação:

Prof. Daduí Cordeiro Guerrieri

Prof. Jeziel da Silva Nunes

Integrantes:

Antônio Victor de Souza Correa (Iniciação científica)

Luis Henrique Schott de Lima (Projeto Final)

Financiamento: